-
1 ионная имплантация
ионная имплантация
Процесс изменения физических или химических свойств приповерхностного слоя твердого тела путем внедрения соответствующих атомов потоком ионизированных частиц.
[ http://www.manual-steel.ru/eng-a.html]
ионная имплантация
Средство для введения легирующих добавок в полупроводниковый материал. Заряженные атомы (ионы) ускоряются в электрическом поле и внедряются в полупроводниковый материал. Данный метод особенно эффективен для создания тонких легированных областей. Такой процесс гораздо точнее, чем диффузионный метод легирования.
[ http://www.cscleansystems.com/glossary.html]Тематики
EN
Русско-английский словарь нормативно-технической терминологии > ионная имплантация
-
2 ионная имплантация
Ионная имплантацияСпособ введения посторонних атомов внутрь твердого тела путем бомбардировки его поверхности пучком ионов c высокой энергией (до 1 МэВ). Имплантируемые ионы внедряются в материал мишени на глубину от 0,01 до 1,0 мкм, формируя в ней особое структурно-фазовое состояние. Толщина слоя зависит от энергии и от массы ионов, а также от массы атомов мишени. Широко используется для формирования легированных областей на поверхности полупроводника при создании полупроводниковых приборов. Является стандартным технологическим приемом, используемым в планарной технологии.Англо-русский словарь по нанотехнологиям > ионная имплантация
-
3 ионная имплантация
Ионная имплантацияСпособ введения посторонних атомов внутрь твердого тела путем бомбардировки его поверхности пучком ионов c высокой энергией (до 1 МэВ). Имплантируемые ионы внедряются в материал мишени на глубину от 0,01 до 1,0 мкм, формируя в ней особое структурно-фазовое состояние. Толщина слоя зависит от энергии и от массы ионов, а также от массы атомов мишени. Широко используется для формирования легированных областей на поверхности полупроводника при создании полупроводниковых приборов. Является стандартным технологическим приемом, используемым в планарной технологии.Russian-English dictionary of Nanotechnology > ионная имплантация
-
4 ионная имплантация
1) Engineering: implant, implant doping, implantation, implantation doping, implantation process, ion implantation, ion implantation doping, ion-beam implantation, ion-implantation process2) Microelectronics: all-ion-implant process, ion-implant doping, ion-implantation doping, ion-implantation processingУниверсальный русско-английский словарь > ионная имплантация
-
5 ионная имплантация
adjelectr. Ionenimplantation -
6 ионная имплантация
йо́нна імпланта́ціяРусско-украинский политехнический словарь > ионная имплантация
-
7 ионная имплантация
йо́нна імпланта́ціяРусско-украинский политехнический словарь > ионная имплантация
-
8 ионная имплантация
-
9 ионная имплантация
ion implantation, ion beam implantation -
10 ионная имплантация
adjeng. implantation d'ions, implantation ionique -
11 ионная имплантация
-
12 ионная имплантация
• iontová implantace -
13 ионная имплантация
Русско-английский словарь по микроэлектронике > ионная имплантация
-
14 ионная имплантация
Русско-английский словарь по машиностроению > ионная имплантация
-
15 ионная имплантация
= ионное легированиеua\ \ [lang name="Ukrainian"]іонна імплантація, іонне легуванняen\ \ ion implantationde\ \ Ionenimplantationfr\ \ \ implantation d'ionsбомбардировка поверхности металла, полупроводника или диэлектрика ионами металлов и неметаллов, приводящая к изменению состава, структуры и свойств поверхности; глубина проникновения ионов в мишень тем больше, чем больше энергия ионов; ионы с энергией ≈ 10—100 кэВ проникают на глубину 0,01—1 мкм -
16 ионная имплантация
Ionendotierung f; Ioneneinlagerung f; Ionenimplantation f -
17 ионная имплантация
іонова [йонова] імплантація -
18 ионная имплантация
Бомбардировка поверхности материала или заготовки ионами с энергией порядка 103 - 104 эВ, приводящая к изменению структуры поверхностного слоя и в ряде случаев его химического состава и таким образом к формированию слоя изменённого материала, т.е. покрытия. -
19 ионная имплантация в аморфный материал
Microelectronics: amorphous implantationУниверсальный русско-английский словарь > ионная имплантация в аморфный материал
-
20 ионная имплантация в аморфный полупроводник
Electronics: amorphous implantationУниверсальный русско-английский словарь > ионная имплантация в аморфный полупроводник
См. также в других словарях:
ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ — (ионное внедрение, ионное легирование) введение примесных атомов в твёрдое тело бомбардировкой его поверхности ускореннымиионами. При ионной бомбардировке мишени наряду с процессами распыления поверхности, ионно ионной эмиссии, образования… … Физическая энциклопедия
ионная имплантация — Процесс изменения физических или химических свойств приповерхностного слоя твердого тела путем внедрения соответствующих атомов потоком ионизированных частиц. [http://www.manual steel.ru/eng a.html] ионная имплантация Средство для введения… … Справочник технического переводчика
ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ — (ионное внедрение, ионное легирование) введение примесных атомов в твердое тело при бомбардировке его поверхности направленным пучком ускоренных ионов. Широко применяется в технологии микроэлектроники для создания p n переходов, гетеропереходов и … Энциклопедический словарь
Ионная имплантация — Схема установки для ионной имплантации и селекции ионов по энергии. Ионная имплантация способ введения атомов примесей в поверхностный слой пластины или эпитаксиальной пленки путем бомбардировки ег … Википедия
ионная имплантация — Термин ионная имплантация Термин на английском ion implantation Синонимы ионное внедрение, ионное легирование Аббревиатуры Связанные термины биосовместимые покрытия Определение введение примесных атомов в твердое тело путем его бомбардировки… … Энциклопедический словарь нанотехнологий
Ионная имплантация — 7. Ионная имплантация процесс модификации поверхности, когда легирующий материал ионизируется, ускоряется в электрическом поле и имплантируется в приповерхностный слой подложки. Это определение включает также процессы, в которых ионная… … Официальная терминология
Ионная имплантация — Ion implantation Ионная имплантация. Процесс изменения физических или химических свойств приповерхностного слоя твердого тела путем внедрения соответствующих атомов потоком ионизированных частиц. (Источник: «Металлы и сплавы. Справочник.» Под… … Словарь металлургических терминов
ионная имплантация — Ion Implantation Ионная имплантация Способ введения посторонних атомов внутрь твердого тела путем бомбардировки его поверхности пучком ионов c высокой энергией (до 1 МэВ). Имплантируемые ионы внедряются в материал мишени на глубину от 0,01 до … Толковый англо-русский словарь по нанотехнологии. - М.
ионная имплантация — joninė implantacija statusas T sritis chemija apibrėžtis Priemaišų atomų įterpimas į kietąjį kūną bombarduojant jo paviršių pagreitintų jonų srautu. atitikmenys: angl. ionic implantation rus. ионная имплантация … Chemijos terminų aiškinamasis žodynas
ионная имплантация для формирования эмиттера — emiterio jonų implantavimas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. emitter ion implantation vok. Emitterimplantation, f rus. ионная имплантация для формирования эмиттера, f pranc. implantation ionique pour formation des zones… … Radioelektronikos terminų žodynas
ионная имплантация через защитный слой оксида — jonų implantavimas pro apsauginį oksido sluoksnį statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. field oxide ion implantation vok. Feldoxidionenimplantation, f rus. ионная имплантация через защитный слой оксида, f pranc. implantation… … Radioelektronikos terminų žodynas